超快飞秒激光加工装备，是一款功能完善的飞秒激光微加工系统，采用高性能飞秒激光器、高精度物镜聚焦与振镜扫描系统、纳米分辨运动定位平台、液晶空间光调制器以及多功能集成控制软件，一台设备即可满足超快激光科研和工程开发所有加工需求。应用于切割、钻孔、微增材、异质焊接、表面改性、多光子聚合等诸多领域。
高精高效
-兼容亚微米分辨率高精度与大规模高效率加工
光场变换
- 采用液晶空间光调制器实现激光光束时空整形
双模兼容
- 具备物镜紧聚焦与振镜高速扫描双工作模式
精密运动
- 采用可达纳米级分辨率的精密运动定位平台
精准控制
- 具备激光脉冲与运动定位的时空高效精准控制
人机友好
- 自主开发功能完善的集成控制和工艺规划软件
激光脉宽
<290fs
加工功率
20W
脉冲能量
>200μJ
光斑尺寸
<2μm
振镜重复定位
<2μrad
运动定位
重复定位精度<300nm，行程>100mm
光斑形状
高斯、平顶、贝塞尔、涡旋光等
固定光路式激光喷丸装备
动态扫描式激光喷丸装备
移动式激光喷丸强化装备
脉冲激光智能控制器
激光喷丸强化工艺设计专用软件
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